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中国"十四五"高端仪器专项旨在推动国产科学仪器的发展。该专项规划投入70亿元以上，重点突破质谱仪、电镜、色谱仪等设备领域，力争到2025年国产化替代率达30%以上。
一、专项重点方向
| 技术类别 | 具体目标 | 承担单位案例 |
|---|---|---|
| 高稳定离子源 | 寿命>8000小时 | 中科院大连化物所 |
| 纳米级运动控制 | 精度达0.1nm | 清华大学精仪系 |
| 超高真空系统 | 极限真空<5×10⁻¹⁰Pa | 上海微电子装备 |
二、专项实施创新机制
三、阶段性成果展示
四、未来挑战与对策
"十四五"专项将助推中国高端仪器产业发展，预计到2025年形成2000亿规模的国产高端仪器产业集群，为科技创新提供支撑。
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